사업 영역
■ 그린사업
옥상 배기 환경 설비
[Application]
- 환경 오염 및 악취 방지 기술
- Duct 부식 및 막힘 방지 기술
- Corona Plasma 기술 확보
■ Scrubber 사업
Plasma Wet Scrubber, Heating Wet Scrubber, Dry Scrubber, Wet Scrubber
Plasma& Wet Scrubber
- 지구 온난화 물질 저감 핵심 기술 확보
- Plasma 핵심 기술확보 및 CDM 사업진출
교두보 확보
Heating & Wet Scrubber
- 범 적용성 확보로 신흥시장 공략
(LED, sunlight battery)
Dry/Wet Scrubber
- 부식성 Gas의 완벽한 처리 및 간편한 운영
■ Trap
Cold Trap / Hot Trap, Hot & Cooled Trap, Filter Trap(공정용 장비)
- Fore line Powder의 포집
- 진공 Pump의 Lifetime 연장
- 운영비 절감 및 공정 생산성 향상
■ Plasma Sensor
NPS 1000 Series
- Self Plasma 기술 확보
- 공정 실시간 Monitoring
→ 설계 선폭의 미세화로 인한 공정 Monitoring 필요성 대두
