제품정보
PRODUCTS & SOLUTIONS
Trap
- Trap
- 물성 변화를 통한 파우더 형성 및 포집 장치
- 공정 Gas에 의한 Pump Trip 방지
Pump Lifetime 증대
Back Stream에 의한 Chamber 오염 방지
Wafer 생산량 증대
Heating Jacket 제거 및 Pipe Coating 제거로 비용 절감 가능
배관 막힘 방지 효과
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