Trap

물성 변화를 통한 파우더 형성 및 포집 장치

• 공정 Gas에 의한 Pump Trip 방지
• Pump Lifetime 증대
• Back Stream에 의한 Chamber 오염 방지
• Wafer 생산량 증대
• Heating jacket 제거 및 Pipe coating 제거로 비용 절감
• 배관 막힘 방지

Series

※ System Trap, Fore line Trap, Exhaust Trap
※ Cooling, Heating, Heating & Cooling, Air Cooling, Filter Type, Cyclone, Catalysis, Etc