제품정보
PRODUCTS & SOLUTIONS
Scrubber
Thermal Scrubber
Main Feature
Semi / PV / LCD / LED와 같은 범 적용성 공정용 장비
- 고장 없는 안정적인 운영
- 고효율의 cartridge type 히터 적용
- 간편한 교체 및 유지 보수
- Fog & EP를 도입한 탁월한 부산물 처리 능력
- Powder trouble 방지 특화 디자인
- 저렴한 운영 비용
Series
※ NSHW 600, NSHW1.5K, NSHW3K, NSHB3K, NSHC600
Application Gas
| Gas | Example | Gas | Example |
|---|---|---|---|
| Si 화합물 | SiH4, SiH2Cl2, TEOS,... | 독성 가스 | PH3, BCl3,... |
| 가연성 가스 | H2, NH3, CH4,... | ||
| 수용성 가스 | Cl2, F2, HCl, NH3,... |
