제품정보
PRODUCTS & SOLUTIONS
Scrubber
Plasma Scrubber
Main Feature
3000℃ 이상의 고온의 Arc Plasma를 이용한 가연성, 독성, PFCs 가스 처리 장치
- 저 전력 고 효율 기술 Thermal Plasma 기술
- 완벽한 PFCs Gas 처리 능력.
- Fog & EP를 도입한 탁월한 By-Product 처리
- Long torch lifetime.
- 부식방지를 위한 특화재질 및 코팅
- 자동 운명 모드로 간편한 조작
Series
※ NSPW 600, NSPW1.5K, NSPW3K
Application Gas
| Gas | Example | Gas | Example |
|---|---|---|---|
| Si 화합물 | SiH4, SiH2Cl2, TEOS, ... | 독성 가스 | PH3, BCl3 |
| 가연성 가스 | H2, NH3 | PFCs 가스 | NF3, CF4, SF6, C2F6, ... |
| 수용성 가스 | Cl2, F2, HCl, NH3, ... | 기타 등등 |
